净化地坪材料应以平整光滑、耐磨、耐冲击、易清洁、整体性好、无裂缝、承载力适当、防静电等为选择标准。洁净车间（洁净室）的地面也要求防潮。主要防潮措施：在地面混凝土基层下设置防潮层-膜隔离层，采用架空地面。地板表面材料：1）非弹性表面材料水磨石。2）涂层表面材料-a膜型：丙烯酸、环氧、聚氨酯等；B自流平：环氧自流平。3）弹性饰面材料-PVC块或表面材料（PVC塑料地板）。